真空上料機中使用的羅茨風機分臥式和立式兩種。臥式羅茨風機，它由兩個漸開腰形轉子(空心或實心)、長圓形機殼、兩根平行軸組成。機殼可分為帶有水冷、氣冷和不設冷卻裝置三類。傳動機構是在兩軸的同端裝有式樣和大小完全相同的、且互相嚙合的兩個齒輪，使主動軸直接與電動機相連，并通過齒輪帶動使從動軸作相反方向的轉動。每個轉于旋轉一周，能排擠出兩倍陰影體積的空氣，因而主動軸每旋轉一周就排擠出4倍陰影體積的空氣。羅茨風機進、出口合理的布置應為：上端進風下端排風(對臥式而言)，這樣可以利用高壓氣體抵銷一部分轉子與軸的重力，降低軸承壓力，減少磨損。